沈阳科仪

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司(以下简称“公司”)创建于1958年，公司总部位于辽宁省沈阳市浑南区，占地面积110亩，建筑面积3.5万平方米。多年来，公司专注于洁净真空、超高真空技术的研究和发展，拥有真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心、国家企业技术中心等国家级研发平台，是我国真空技术及真空类科学仪器攻坚的主力军。

公司主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务。公司产品主要包括用于集成电路晶圆制造及光伏电池等泛半导体产品制造的干式真空泵，以及面向国家重大科技基础设施和科研领域的真空科学仪器设备。公司先后承担“863计划”“02专项”“国家重点研发计划”“04专项”等国家级重大科研专项/课题。公司通过自主研发创新实现了国产干式真空泵在集成电路领域的批量应用，有效保障了我国集成电路制造设备关键零部件的自主可控和供应链安全。在真空科学仪器设备领域，公司长期致力于高端科研仪器设备的研发制造，为我国重大科技基础设施的建设发展做出贡献。另外，公司打破国外长期禁运，在科研用MBE设备研制领域积累了丰富经验。

公司先后获得国家科学技术进步奖6项，中国科学院及省部级科技进步奖20余项，国家重点新产品6项。公司拥有发明专利百余项，负责或作为主要参与方起草了13项真空技术相关的国家、行业及团体标准。公司被评为国家专精特新“小巨人”企业、国家高新技术企业、国家知识产权优势企业等。

公司设立有3个全资子公司—上海上凯仪真空技术有限公司、中科仪(南通)半导体设备有限责任公司、中科仪(广州)半导体设备有限责任公司;1个分公司—中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司上海分公司。